仪器介绍
Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。
产品特点
白光干涉测厚仪TF200-XNIR
产品特点
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高
应用案例
应用领域
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻胶ITO等）
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等） 医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）
技术参数
|
型号 |
Delta-VIS |
Delta-DUV |
Delta-NIR |
|
波长范围 |
380-1050nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
|
厚度范围 |
50nm-40um |
1nm-30um |
10um-3mm |
|
准确度1 |
2nm |
1nm |
10nm |
|
精度 |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
|
入射角 |
90° |
90° |
90° |
|
样品材料 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
|
测量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
|
光斑尺寸2 |
2mm |
2mm |
2mm |
|
是否能在线 |
是 |
是 |
是 |
|
扫描选择 |
XY可选 |
XY可选 |
XY可选 |
注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2. 可选微光斑附件。
