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薄膜厚度测量系统Delta

产品属性

产地:中国

仪器介绍

Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量nk值。

产品特点

薄膜厚度测量系统Delta

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

技术参数